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芬兰KxS Technologies半导体浓度监测仪DCM特点与用途
更新时间:2025-10-29 点击次数:250次
标题:芬兰KxS Technologies半导体浓度监测仪DCM产物系列
主要产物
KxS Technologies的主要产物包括:
半导体浓度监测仪
光学折射仪
过程监测设备
主要型号
KxS Technologies的主要型号有:
顿颁惭-10半导体浓度监测仪
芬兰KxS Technologies半导体浓度监测仪DCM产物系列产物介绍:
芬兰KxS Technologies半导体浓度监测仪DCM产物系列
产物介绍
KxS Semiconductor浓度监测仪DCM-10是一种光学折射仪,用于实时监测晶圆加工过程中涉及的液体化学品或混合物的浓度。该设备采用折射率测量原理,通过检测光线通过样品时的折射角度变化来确定溶液浓度。
技术参数包括:
电源输入:24 VDC
通信接口:模拟信号(4-20 mA)和数字信号(Modbus TCP)
显示单位:温度补偿后的浓度单位(重量百分比或驳/肠尘?)
连接尺寸:支持1/4、3/8、1/2、3/4和1英寸工艺管线
芬兰KxS Technologies半导体浓度监测仪DCM产物系列优势特点
? 设备采用独立运行设计,测量功能集成在传感器内部
? 结构紧凑,占用空间较小
? 具有较好的流动特性,采用全通径设计
? 安装较为简便,支持标准接头
? 采用双体结构,光学部件在流路单元拆卸时保持完好
芬兰KxS Technologies半导体浓度监测仪DCM产物系列主要应用:
芬兰KxS Technologies半导体浓度监测仪DCM产物系列
半导体制造
晶圆清洗
化学蚀刻
化学机械平坦化
来料化学品检测

